新一代高精度温铯离子源FIB系统

新一代的FIB: ZERO（Cs⁺ LoTIS）与传统的液态金属镓离子源(Ga⁺ LMIS) FIB 系统相比拥有更高的微纳加工精度，更清晰的成像对比度和景深。其加工速度与传统FIB基本一致，在低离子束流能量条件下有着更优异的表现。与氦（He⁺），氖（Ne⁺）离子源FIB相比，FIB: ZERO拥有高一个数量级的加工速度和对样品更少的加工损伤。

产品特点：

• 更高的亮度；

• 更小的离子束斑尺寸；

• 更小的能量散失。